硅二维FA基板

二维阵列硅基板优势：

• 定制化高通道方案

• 定制化光纤出射孔结构

• 喇叭状光纤导入结构

• 晶圆级量产

• 周期精度 <1μm 

• 孔径精度 1μm

• 键合精度 <5μm 

• 键合强度已通过2000H高温高湿可靠性验证

• 整体厚度（孔长度）>1.5mm, 保证光纤平行度