材质:光学玻璃,n=1.5or2.0,材料厚度0.2mm~1mm
采用激光辅助刻蚀工艺
产品指标&工艺能力:
1. CA/D:100um~1000um/120um~1200um
2. ROC:180um~5000um
3.K:0~-12
4.Sag:<40um
5.RMS:<60nm
6.Surface Roughness:<5nm
7.Reflectivity@1250~1620nm:<0.3%
8.Verticality:±1.5°
测试方法:白光干涉仪、台阶仪(柱透镜)

材质:单晶硅,材料厚度0.2~1mm
产品指标&工艺能力:
1. CA/D:100~1000um/120~1200um
2.ROC:180~5000um
3.K:0~-12
4.Sag:<40um
5. RMS:<25nm
6.Surface Roughness:<5nm
7.Reflectivity@1250~1620nm:<0.3%
8.Verticality:±1.5°
测试方法:白光干涉仪(全测)
应用:高速光模块TOSA端
可根据实际使用需要定制:表面金属、识别Mark点、溢胶槽等
