厚度约0.3mm低介电常数玻璃,孔径60±5μm
采用电镀铜填孔工艺(Copper plating and VIA filling)
信号经TGV从背面传输至正面,支持超100GHz传输速率
SDD21:184GHz
@-3dB
SCD21:<-20dB
@200Ghz
适配EML激光器
传输线台阶高度100±5μm,与激光器度精准匹配
台阶采用低介电常数、低传输损耗材料
制程无陶瓷烧结、无通孔电镀工序
射频区与衬底隔离,性能稳定
衬底为氮化铝
已通过大客户验证