材质:硅、石英、特殊玻璃,材料厚度0.2mm~1mm
产品指标&工艺能力:
1、 性能指标参考单透镜
2、 ROC Tolerance:
Array to Array: 3%
In-Array:+1%
测试方法:白光干涉仪(全测)、台阶仪
应用:FAU for CPO/NPO、WSS、OCS